W połączeniu z wszechstronnymi zaletami tradycyjnych materiałów podłoża Al2O3 i BeO, ceramika z azotku glinu (AlN), która ma wysoką przewodność cieplną (teoretyczna przewodność cieplna monokryształu wynosi 275 W/m▪k, teoretyczna przewodność cieplna polikryształu wynosi 70 ~ 210 W/m▪k ), niską stałą dielektryczną, współczynnikiem rozszerzalności cieplnej dopasowany do krzemu monokrystalicznego i dobrymi właściwościami izolacji elektrycznej, jest idealnym materiałem na podłoża obwodów i opakowania w przemyśle mikroelektroniki.Jest to również ważny materiał na wysokotemperaturowe konstrukcyjne elementy ceramiczne ze względu na dobre właściwości mechaniczne w wysokich temperaturach, właściwości termiczne i stabilność chemiczną.
Teoretyczna gęstość AlN wynosi 3,26 g/cm3, twardość MOHS wynosi 7-8, rezystywność w temperaturze pokojowej jest większa niż 1016 Ωm, a rozszerzalność cieplna wynosi 3,5 × 10-6/℃ (temperatura pokojowa 200 ℃).Ceramika z czystego AlN jest bezbarwna i przezroczysta, ale ze względu na zanieczyszczenia może mieć różne kolory, takie jak szary, szaro-biały lub jasnożółty.
Oprócz wysokiej przewodności cieplnej ceramika AlN ma również następujące zalety:
1. Dobra izolacja elektryczna;
2. Podobny współczynnik rozszerzalności cieplnej w przypadku monokryształu krzemu, lepszy od materiałów takich jak Al2O3 i BeO;
3. Wysoka wytrzymałość mechaniczna i podobna wytrzymałość na zginanie z ceramiką Al2O3;
4. Umiarkowana stała dielektryczna i straty dielektryczne;
5. W porównaniu z BeO, przewodność cieplna ceramiki AlN jest mniej zależna od temperatury, szczególnie powyżej 200 ℃;
6. Odporność na wysoką temperaturę i odporność na korozję;
7. Nietoksyczny;
8. Być stosowane w przemyśle półprzewodników, metalurgii chemicznej i innych dziedzinach przemysłu.
Czas publikacji: 14 lipca 2023 r