Ceramiczny efektor końcowy pokryty teflonem – powierzchnia nieprzywierająca do delikatnego obchodzenia się z waflami
Ceramiczny efektor końcowy pokryty teflonem (PTFE) firmy St.Cera łączy w sobie wysokowytrzymałe podłoże z tlenku glinu z jednolitą powłoką PTFE o niskim współczynniku tarcia (grubość 15–30 μm). Powłoka zapewnia wyjątkowo niski współczynnik tarcia (≤0,1), doskonałą odporność chemiczną i właściwości nieprzywierające, zapobiegając przywieraniu płytek i eliminując zanieczyszczenia tylnej powierzchni. Podłoże ceramiczne (99,8% Al₂O₃) charakteryzuje się wysoką wytrzymałością na zginanie (361–1000 MPa), odpornością na zużycie i stabilnością termiczną do 260°C (limit powłoki). Ten efektor końcowy idealnie nadaje się do obróbki delikatnych, cienkich lub lepkich płytek (np. po nałożeniu fotorezystu lub obróbce chemicznej).
Specyfikacje (na bazie podłoża 99,8% Al₂O₃ z powłoką PTFE):
| Nieruchomość | Wartość |
| Materiał podłoża | 99,8% tlenku glinu (kość słoniowa) |
| Materiał powłokowy | PTFE (teflon) |
| Grubość powłoki | 15–30 mikrometrów |
| Współczynnik tarcia (powlekany) | ≤0,1 |
| Wytrzymałość podłoża na zginanie (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Twardość podłoża (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Gęstość podłoża | 3,93 g/cm³ |
| Maksymalna temperatura robocza (limit powłoki) | 260°C |
| Chropowatość powierzchni (przed powlekaniem) | Ra ≤0,4 μm |
| Wytrzymałość dielektryczna (podłoże) | 15×10⁶ V/m |
Uwaga: Powłoka PTFE ogranicza maksymalną temperaturę do 260°C; w przypadku zastosowań wymagających wyższych temperatur należy rozważyć zastosowanie niepowlekanej ceramiki lub innych powłok.
Zastosowania:
- · Postępowanie z płytkami po nałożeniu powłoki fotorezystowej (powierzchnie lepkie)
- · Przenoszenie cienkich i kruchych płytek (zapobiega przywieraniu)
- · Narzędzia do kontroli i metrologii półprzewodników
- · Automatyzacja pomieszczeń czystych, w których należy zminimalizować zanieczyszczenie cząsteczkami
Proces produkcyjny:
Podłoże ceramiczne spiekane i precyzyjnie szlifowane → chropowacenie powierzchni (trawienie plazmowe lub obróbka strumieniowo-ścierna) → natryskowa powłoka PTFE → utwardzanie w temperaturze 380°C → kontrola końcowa. Każdy efektor końcowy jest sprawdzany pod kątem grubości powłoki (prądy wirowe), przyczepności (test nacięć krzyżowych ASTM D3359) oraz współczynnika tarcia.
Kontrola jakości:
100% kontrola wizualna pod kątem porów i pęcherzyków powietrza; jednolitość grubości powłoki z tolerancją ±5 μm; brak rozwarstwienia po próbie zgięcia pod kątem 90° na okazowym kuponie. Kontrola wymiarów zgodnie z tolerancją OEM (długość ±0,05 mm, płaskość ≤0,1 mm).
Zalety w porównaniu z powłokami niepowlekanymi lub innymi powłokami:
- · Powierzchnia nieprzywierająca zapobiega przywieraniu i pękaniu płytek
- · Najniższy współczynnik tarcia wśród powłok ceramicznych
- · Doskonała odporność chemiczna (kwasy, zasady, rozpuszczalniki)
- · Zmniejsza powstawanie cząstek poprzez zapobieganie przenoszeniu materiału
Ograniczenia (uwagi dotyczące odchyleń materiałowych):
Powłoka PTFE nie pochodzi z dostarczonych tabel właściwości materiałów (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Właściwości podłoża ściśle odpowiadają dostarczonej karcie katalogowej (99,8% Al₂O₃). Właściwości powłoki oparte są na standardowych specyfikacjach PTFE obowiązujących w branży, ponieważ nie podano danych dotyczących powłoki. W przypadku zastosowań w temperaturach powyżej 260°C zaleca się stosowanie niepowlekanego, ceramicznego efektora końcowego.*
Personalizacja:
Dostępne w długościach 150–1500 mm, z kształtami końcówek (chwyt krawędziowy, Bernoulliego, płaski), z wzorami kołnierzy montażowych zgodnie z rysunkiem OEM. Częściowe pokrycie (tylko obszary styku) lub pełne pokrycie opcjonalnie.
Zamów próbkę do badania przyczepności i tarcia.
