Pierścień izolacyjny PVD z tlenku glinu do systemów fizycznego osadzania z fazy gazowej
Pierścień izolacyjny PVD firmy St.Cera jest wytwarzany z tlenku glinu (Al₂O₃) o wysokiej czystości 99,8%, do stosowania w systemach fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD). Pierścień zapewnia izolację elektryczną między elementami komory, zapobiegając powstawaniu łuku elektrycznego i zapewniając stabilną pracę plazmy. Do jego kluczowych właściwości należą wysoka wytrzymałość dielektryczna (15×10⁶ V/m), rezystancja właściwa >10¹⁴ Ω·mm²/m oraz stabilność termiczna do 1600°C. Nasze możliwości precyzyjnej obróbki pozwalają na uzyskanie średnic zewnętrznych do 600 mm, średnic wewnętrznych do 0,2 mm, płaskości 0,003 mm oraz gładkości powierzchni Ra 0,1. Zerowa porowatość i obojętność chemiczna pierścienia gwarantują długotrwałą niezawodność w agresywnych środowiskach napylania.
Specyfikacje (na podstawie 99,8% Al₂O₃i możliwości produkcyjne St.Cera):
| Nieruchomość | Wartość |
| Tworzywo | 99,8% tlenku glinu (kość słoniowa) |
| Gęstość | 3,93 g/cm³ |
| Wytrzymałość na zginanie | 361 MPa |
| Twardość Vickersa | 16 GPa |
| Wytrzymałość dielektryczna | 15×10⁶ V/m |
| Opór właściwy | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maksymalna średnica zewnętrzna | 600 mm |
| Min. średnica wewnętrzna | 0,2 mm |
| Maksymalna grubość | 100 mm |
| Płaskość | 0,003 mm |
| Równoległość | 0,002 mm |
| Wykończenie powierzchni | Ra0,1 |
| Maksymalna temperatura pracy | 1600°C |
Zastosowania:
- · Izolatory płyt podkładowych w systemach PVD
- · Izolatory przepustowe komorowe
- · Izolatory pierścieniowe osłonowe w systemach napylania
- · Izolacja wysokiego napięcia w komorach plazmowych
Precyzja produkcji:
Koncentryczność: 0,01 mm, okrągłość: 0,002 mm, prostoliniowość: 0,005 mm, prostopadłość: 0,005 mm, zweryfikowane przez CMM.
AZalety w porównaniu z izolatorami polimerowymi:
- · Wytrzymuje temperaturę 1600°C w porównaniu z limitem polimeru <300°C
- · Brak odgazowywania – utrzymuje integralność próżni
- · Odporny na erozję plazmową i ataki chemiczne
Personalizacja:
Dostępne są niestandardowe przekroje, elementy montażowe, profile stopni i wiele wzorów pierścieni koncentrycznych.
