Ceramiczny kołek podtrzymujący do uchwytów do procesów półprzewodnikowych
Ceramiczne kołki podporowe St. Cera (znane również jako kołki podnoszące lub kołki podporowe) są stosowane w komorach procesowych półprzewodników do podnoszenia płytek lub podłoży podczas transportu, nagrzewania lub chłodzenia. Wykonane z 99,8% tlenku glinu lub azotku krzemu, kołki te charakteryzują się wysoką wytrzymałością na ściskanie, stabilnością termiczną i odpornością chemiczną. Półkulista lub płaska końcówka zapobiega zarysowaniu płytki.
Specyfikacje(Glin 99,8%):
| Nieruchomość | Wartość |
| Tworzywo | 99,8% Al₂O₃ lub Si₃N₄ |
| Długość | 10 – 100 mm |
| Średnica | 1 – 10 mm |
| Kształt końcówki | Płaski, półkulisty, spiczasty |
| Wytrzymałość na ściskanie (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maksymalna temperatura pracy (Al₂O₃) | 1600°C |
| Wykończenie powierzchni | Docierane (Ra ≤0,4 μm) |
| Tolerancja średnicy | ±0,01 mm |
Zastosowania:
Kołki podnoszące w komorach CVD/PVD
Kołki podporowe do pieczenia na płycie grzewczej
Struktury podtrzymujące karty sondowe
Podpory łodzi pieca kwarcowego
Produkcja:
Precyzyjne bezkłowe szlifowanie średnicy zewnętrznej → szlifowanie diamentowe profilu wierzchołka → czyszczenie ultradźwiękowe → 100% kontrola wymiarowa.
Kontrola jakości:
Współrzędnościowa maszyna pomiarowa długości/średnicy, komparator optyczny do pomiaru promienia końcówki, test obciążeniowy w celu sprawdzenia wytrzymałości na ściskanie (próbka losowa na partię). Brak zanieczyszczeń ferromagnetycznych (potwierdzone magnesem).
Zalety w porównaniu do szpilek metalowych lub kwarcowych:
5x dłuższa żywotność niż w przypadku stali nierdzewnej
Brak zanieczyszczeń metalowych w komorze procesowej
Wyższa odporność na temperaturę niż w przypadku kwarcu (1600°C w porównaniu do 1100°C)
Powierzchnia nieprzywierająca (zmniejszona przyczepność cząstek)
Personalizacja:
Różne profile końcówek, gwintowana podstawa lub stożkowy trzonek.
Dostarczamy również piny SiC przeznaczone do ekstremalnych środowisk plazmowych.
