Pierścień uszczelniający z ceramiki aluminiowej o wysokiej czystości do uszczelniania komór wysokotemperaturowych
Ceramiczny pierścień uszczelniający St.Cera został zaprojektowany jako alternatywa dla polimerowych pierścieni uszczelniających typu O-ring w ekstremalnych warunkach, w których elastomery ulegają degradacji. Wykonany z 99,8% tlenku glinu (Al₂O₃) o wysokiej czystości, ten sztywny pierścień uszczelniający jest stosowany w uszczelnieniach statycznych – zazwyczaj w połączeniu z uszczelką z miękkiego metalu lub grafitu – w celu zapewnienia niezawodnej próżni lub izolacji gazu w temperaturach do 800°C oraz w agresywnym środowisku plazmowym lub chemicznym. Materiał charakteryzuje się zerowym odgazowaniem, wysoką wytrzymałością na ściskanie (podstawowa wytrzymałość na zginanie 361 MPa) oraz obojętnością chemiczną (odporność na halogeny, kwasy i zasady z wyjątkiem HF). Precyzyjnie docierane powierzchnie uszczelniające (płaskość ≤5 μm, chropowatość powierzchni Ra ≤0,2 μm) zapewniają szczelny kontakt z elementami metalowymi lub ceramicznymi.
Specyfikacje(na podstawie 99,8% Al₂O₃):
| Nieruchomość | Wartość |
| Tworzywo | 99,8% tlenku glinu (kość słoniowa) |
| Gęstość | 3,93 g/cm³ |
| Absorpcja wody | 0% |
| Wytrzymałość na zginanie | 361 MPa |
| Wytrzymałość na ściskanie (szacowana) | >2000 MPa |
| Twardość Vickersa | 16 GPa |
| Rozszerzalność cieplna (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Maksymalna temperatura pracy | 800°C (powietrze), 1600°C (obojętne) |
| Wykończenie powierzchni (powierzchnia uszczelniająca) | Ra ≤0,2 μm (docierane) |
| Płaskość (na 25 mm) | ≤5 μm |
| Szybkość wycieku helu | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (z odpowiednią uszczelką) |
Zastosowania:
- · Uszczelnienia statyczne komór procesowych półprzewodników (CVD, PVD, trawienie)
- · Uszczelki drzwi pieca wysokotemperaturowego
- · Kołnierze przepustowe próżniowe
- · Zamknięcia zbiorników reaktorów chemicznych
Proces produkcyjny:
Prasowanie izostatyczne → spiekanie w temperaturze 1600°C → precyzyjne dwustronne docieranie w celu uzyskania ultrapłaskich, gładkich powierzchni uszczelniających → fazowanie krawędzi → czyszczenie ultradźwiękowe. Każdy pierścień jest w 100% testowany pod kątem szczelności na helowym detektorze nieszczelności ze standardową metalową uszczelką.
Kontrola jakości:
- · Kontrola wymiarów CMM (średnica wewnętrzna, średnica zewnętrzna, grubość, równoległość)
- · Profilometr powierzchniowy do pomiaru Ra i falistości
- · Pomiar płaskości metodą płaskości optycznej
- · Badanie szczelności helem (metoda przeciwciśnienia)
Zalety w porównaniu z pierścieniami uszczelniającymi z polimerów:
- · Wytrzymuje 800°C w porównaniu do <300°C dla FFKM
- · Brak odgazowania — brak zanieczyszczeń w środowisku próżniowym
- · Odporny na wszystkie związki chemiczne plazmy (fluor, chlor, tlen)
- · Brak odkształceń trwałych i odkształceń trwałych
- · Nieograniczona żywotność w czystych środowiskach
Ograniczenia (uwagi krytyczne):
- · Nie jest to pierścień uszczelniający— jest to sztywny pierścień ceramiczny, który do uszczelnienia wymaga miękkiej uszczelki (miedzianej, aluminiowej lub grafitowej).
- · Nie uwzględnia ruchów dynamicznych ani dużych odchyleń kołnierzy.
- · Wyższy koszt początkowy niż w przypadku pierścieni uszczelniających z polimerów, ale dłuższa żywotność obniża koszty posiadania.
- · Kruche — należy obchodzić się ostrożnie; unikać uderzeń punktowych i naprężeń zginających.
Notatka:Powyższe dane są ściśle zgodne z dostarczoną tabelą właściwości Al₂O₃. Nie podano danych dotyczących materiałów elastomerowych. Ten produkt to statyczny pierścień uszczelniający, a nie elastomerowy pierścień uszczelniający typu O-ring. Prosimy o potwierdzenie, czy spełnia on wymagania Państwa zastosowania.
