Ceramiczny efektor końcowy z węglika krzemu (SiC) – wysoka sztywność do obróbki płytek w wysokiej temperaturze
Ceramiczny efektor końcowy SiC firmy St.Cera jest wytwarzany z węglika krzemu o wysokiej czystości (zawartość SiC 99,72%, wolny Si 0,05%) z materiału wsadowego S1111. Oferuje on wyjątkowe właściwości mechaniczne: wytrzymałość na zginanie 449 MPa (zmierzona), moduł sprężystości 457 GPa (zmierzony) i twardość Vickersa 25–28 GPa (typowa). Niska gęstość (typowa 3,10–3,15 g/cm³) zapewnia wysoką sztywność właściwą, idealną dla szybkich robotów do transferu płytek. Dzięki przewodności cieplnej 120–150 W/m·K (typowo) i współczynnikowi rozszerzalności cieplnej 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (typowo), ten efektor końcowy skutecznie rozprasza ciepło i zachowuje stabilność wymiarową podczas pracy w wysokich temperaturach (do 1600–1700°C bez obciążenia). Czarno-szary kolor i zerowa absorpcja wody gwarantują kompatybilność z pomieszczeniami czystymi.
Specyfikacje(na podstawie dostarczonego raportu z testu SiC S1111 i typowych wartości):
| Nieruchomość | Wartość |
| Tworzywo | SiC (99,72% SiC, 0,05% wolnego Si) |
| Kolor | Czarny/Szary |
| Gęstość | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Absorpcja wody | 0% |
| Wytrzymałość na zginanie | 449 MPa (średnio) |
| Wytrzymałość na pękanie | 3,12 MPa·m¹/² (średnio) |
| Moduł sprężystości | 457 GPa |
| Twardość Vickersa | 25–28 GPa |
| Przewodność cieplna (25°C) | 120–150 W/mK |
| Współczynnik rozszerzalności cieplnej (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Maksymalna temperatura użytkowania (bez obciążenia) | 1600–1700°C |
Zastosowania:
● Obróbka płytek w wysokiej temperaturze (wyżarzanie po obróbce, RTP, epitaksja)
● Komory do trawienia plazmowego wymagające wysokiej odporności na erozję
● Roboty transferowe o dużej prędkości (lekkie, o dużej sztywności)
Produkcja:
Spiekanie proszku SiC → precyzyjne szlifowanie CNC profilu ramienia i elementów montażowych → docieranie powierzchni → czyszczenie ultradźwiękowe. 100% kontrola wymiarowa i test szczelności helem w zastosowaniach próżniowych.
Kontrola jakości:
● Kontrola długości, szerokości i płaskości za pomocą CMM
● Badanie wytrzymałości na zginanie dla każdej partii (zgodnie ze standardem raportu z badań)
● Kontrola wizualna pod mikroskopem w celu wykrycia wad powierzchniowych
Zalety w porównaniu z tlenkiem glinu i metalem:
● 2× wyższy moduł sprężystości (457 w porównaniu do ~380 GPa dla tlenku glinu) – mniejsze ugięcie
● 3x wyższa przewodność cieplna – szybsze odprowadzanie ciepła
● Wytrzymuje temperatury >1600°C, podczas gdy tlenek glinu wytrzymuje temperatury 800°C w powietrzu
● Niższa gęstość niż w przypadku stali – redukcja wagi o 40%
Personalizacja:
Długości 150–450 mm, kształty końcówek (chwyt krawędziowy, Bernoulliego, płaski), wzory kołnierzy montażowych zgodnie z rysunkiem OEM.
*Wszystkie powyższe dane mechaniczne pochodzą z dostarczonego raportu z badań (partia S1111). Wartości termiczne i twardości są typowe dla tego gatunku SiC; prosimy o kontakt w celu uzyskania certyfikacji dla konkretnej partii.*
