12-calowy uchwyt próżniowy z tlenku glinu do obróbki płytek o średnicy 300 mm
12-calowy uchwyt próżniowy St.Cera został precyzyjnie wykonany z tlenku glinu (Al₂O₃) o czystości 99,8%, co pozwala na obróbkę płytek o średnicy 300 mm. Uchwyt charakteryzuje się drobnorowkową powierzchnią (szerokość rowka 0,5–1,0 mm, skok 2–3 mm), co zapewnia równomierne rozprowadzenie próżni na całej średnicy 300 mm. Płaskość jest utrzymywana z dokładnością do 5 μm, co umożliwia bezodkształcalne mocowanie płytki podczas cięcia, szlifowania tylnej powierzchni i kontroli. Wysoka wytrzymałość na zginanie (361 MPa) i twardość (16 GPa) materiału gwarantują długotrwałą stabilność wymiarową, nawet w przypadku powtarzających się cykli próżniowych.
Specyfikacje (na podstawie 99,8% Al₂O₃):
| Nieruchomość | Wartość |
| Średnica | 300 mm (12 cali) |
| Tworzywo | 99,8% tlenku glinu (kość słoniowa) |
| Gęstość | 3,93 g/cm³ |
| Wytrzymałość na zginanie | 361 MPa |
| Twardość Vickersa | 16 GPa |
| Płaskość (powyżej 300 mm) | ≤5 μm |
| Szerokość rowka | 0,5–1,0 mm |
| Maksymalna temperatura pracy | 800°C |
| Wytrzymałość dielektryczna | 15×10⁶ V/m |
Zastosowania:
Cięcie i żłobienie płytek o średnicy 300 mm
Szlifowanie tylnej strony płytki (cienkie podparcie płytki)
Inspekcja optyczna i sondowanie
Tymczasowe uchwyty do łączenia/odłączania
Produkcja:
Szlifowane CNC i docierane do ostatecznej płaskości, rowkowane tarczami diamentowymi, czyszczone ultradźwiękowo i pakowane w pomieszczeniu czystym klasy 100. Każdy uchwyt jest w 100% sprawdzany pod kątem płaskości (interferometr laserowy) i głębokości rowka (profilometr).
Zalety:
Niska generacja cząstek (≤0,05 cząstek/cm²)
Chemicznie obojętny na rozpuszczalniki i kwasy
Powierzchnia bezpieczna dla ESD (rezystywność >10¹³ Ω·cm)
Dostępne są niestandardowe wzory otworów próżniowych i portów tylnych.
