-
Ramię robota z ceramiki glinowej o wysokiej czystości do obsługi płytek
Ceramiczne ramię robota firmy St.Cera z tlenku glinu zostało precyzyjnie zaprojektowane z 99,8% Al₂O₃ (tlenku glinu). Łączy ono wyjątkową wytrzymałość na zginanie (361 MPa), wysoką twardość (16 GPa) i niską gęstość (3,93 g/cm³), co pozwala na uzyskanie lekkiego, a jednocześnie sztywnego ramienia do transferu płytek półprzewodnikowych. Współczynnik rozszerzalności cieplnej tego materiału (7,2×10⁻⁶/°C) jest zbliżony do współczynnika rozszerzalności cieplnej krzemu, minimalizując niedopasowanie termiczne podczas obróbki.
-
Ceramiczny efektor końcowy Bernoulliego — bezkontaktowe przetwarzanie cienkich i delikatnych płytek
Ceramiczny efektor Bernoulliego firmy St. Cera wykorzystuje siłę nośną aerodynamiczną do przenoszenia płytek bezkontaktowo. Wykonany z wysokiej czystości 99,8% tlenku glinu (Al₂O₃) lub węglika krzemu (SiC), wyposażony jest w precyzyjnie obrobione dysze, które wyrzucają sprężony gaz, tworząc cienką warstwę powietrza między efektorem a płytką. Ta bezkontaktowa zasada działania eliminuje zanieczyszczenia tylnej strony, odpryski krawędzi i uszkodzenia powierzchni, dzięki czemu idealnie nadaje się do cienkich (≤100 μm), kruchych lub odkształconych płytek. Podłoże ceramiczne zapewnia wysoką wytrzymałość na zginanie (361 MPa dla Al₂O₃; do 550–600 MPa dla SiC), niską masę i doskonałą stabilność wymiarową, gwarantując powtarzalne pozycjonowanie w szybkich robotach do transferu płytek.
-
Ceramiczny efektor końcowy pokryty teflonem – powierzchnia nieprzywierająca do delikatnego obchodzenia się z waflami
Ceramiczny efektor końcowy pokryty teflonem (PTFE) firmy St.Cera łączy w sobie wysokowytrzymałe podłoże z tlenku glinu z jednolitą powłoką PTFE o niskim współczynniku tarcia (grubość 15–30 μm). Powłoka zapewnia wyjątkowo niski współczynnik tarcia (≤0,1), doskonałą odporność chemiczną i właściwości nieprzywierające, zapobiegając przywieraniu płytek i eliminując zanieczyszczenia tylnej powierzchni. Podłoże ceramiczne (99,8% Al₂O₃) charakteryzuje się wysoką wytrzymałością na zginanie (361–1000 MPa), odpornością na zużycie i stabilnością termiczną do 260°C (limit powłoki). Ten efektor końcowy idealnie nadaje się do obróbki delikatnych, cienkich lub lepkich płytek (np. po nałożeniu fotorezystu lub obróbce chemicznej).
