Uchwyt próżniowy z porowatego SiC z metalowym podkładem do obsługi płytek o wygiętych i cienkich krawędziach
Ceramiczny uchwyt próżniowy St.Cera na bazie metalu łączy porowatą warstwę ceramiczną z węglika krzemu (SiC) z precyzyjnie obrobionym metalowym podłożem (aluminium lub stal nierdzewna). Porowaty materiał SiC (niebiesko-czarny, porowatość 35–40%, wielkość porów 20–30 μm, przepuszczalność 60 ml/cm²·min) zapewnia równomierne i delikatne rozprowadzanie próżni na całej powierzchni płytki, eliminując ślady na krawędziach i umożliwiając bezkontaktowe podparcie cienkich (≤100 μm) lub odkształconych płytek. Warstwa SiC charakteryzuje się niską rozszerzalnością cieplną (3,5×10⁻⁶/℃), stabilnością termiczną do 1000°C i umiarkowaną wytrzymałością na zginanie (32–35 MPa). Metalowa podstawa zapewnia sztywność strukturalną, łatwy montaż za pomocą gwintowanych otworów oraz ochronę przed kruchym pękaniem. Uchwyt ten doskonale nadaje się do szlifowania tylnej powierzchni, cięcia na kostki i obróbki płytek w wysokiej temperaturze, gdzie kluczowe znaczenie ma równomierne podciśnienie i kompatybilność termiczna.
Specyfikacje (na podstawie dostarczonych danych dotyczących porowatego SiC):
| Nieruchomość | Wartość |
| Materiał ceramiczny | Porowaty węglik krzemu (SiC ≥80%) |
| Kolor | Niebiesko-czarny |
| Porowatość | 35–40% |
| Wielkość porów | 20–30 mikrometrów |
| Gęstość | 2,1–2,3 g/cm³ |
| Przepuszczalność | 60 ml/cm²·min |
| Wytrzymałość na zginanie | 32–35 MPa |
| Współczynnik rozszerzalności cieplnej (25-1000°C) | 3,5×10⁻⁶/℃ |
| Maksymalna temperatura pracy | 1000°C |
| Opór elektryczny | 10⁻¹⁰ Ω/cm (według dostarczonych danych, typowe dla porowatego SiC) |
| Materiał bazowy metalowy | Aluminium 6061 lub stal nierdzewna 304 (opcjonalnie) |
| Grubość podstawy metalowej | 10–30 mm (niestandardowe) |
Uwaga: Wytrzymałość na zginanie jest niższa niż w przypadku gęstego SiC ze względu na porowatość. Właściwości podłoża metalowego nie są charakterystyczne dla stołów ceramicznych.
Zastosowania:
- · Szlifowanie tylnej powierzchni cienkich płytek (≤100 μm)
- · Mocowanie płytki w kształcie wygiętej kostki do krojenia
- · Mocowanie płytek w wysokiej temperaturze (do 1000°C)
- · Mocowanie próżniowe do podłoży porowatych lub kruchych
Produkcja:
Porowata płytka SiC (utworzona za pomocą substancji porotwórczych, spiekana) → docierana do płaskości ≤10 μm → obrobiona maszynowo podstawa metalowa z portami próżniowymi i elementami montażowymi → wiązanie epoksydowe lub zaciskanie mechaniczne → test szczelności helem.
Kontrola jakości:
- · Porowatość i wielkość porów zweryfikowane metodą SEM
- · Badanie przepuszczalności (przepływ powietrza)
- · Płaskość mierzona interferometrem laserowym
- · Szybkość wycieku helu <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
Zalety w porównaniu z rowkowanymi lub gęstymi uchwytami ceramicznymi:
- · Brak śladów na waflu – równomierna próżnia bez oddzielnych otworów
- · Samooczyszczające się pory – zmniejszone zatykanie
- · Obsługuje wypaczone wafle (do 500 μm wygięte)
- · Metalowa podstawa zapobiega kruchemu pękaniu i ułatwia integrację
Ograniczenia:
- · Niższa wytrzymałość na zginanie (32–35 MPa) – unikaj obciążeń udarowych
- · Temperatura robocza ograniczona do 1000°C (porowaty SiC), ale wiązanie epoksydowe na bazie metalu ograniczone do ≤200°C, chyba że zostanie zamocowane mechanicznie
- · Nie nadaje się do próżni wysokociśnieniowej (porowata struktura ogranicza maksymalną różnicę ciśnień)
Personalizacja:
- · Podstawa metalowa: aluminium (lekka), stal nierdzewna (odporna na korozję), inwar (niska rozszerzalność)
- · Klejenie: żywicą epoksydową (≤200°C) lub zaciskiem mechanicznym (do 500°C)
- · Pierścień uszczelniający krawędzi do kontroli podciśnienia strefowego
Uwaga: Podana wytrzymałość na zginanie (32–35 MPa) jest znacznie niższa niż w przypadku ceramiki gęstej ze względu na porowatość. Należy obchodzić się ostrożnie, aby uniknąć odprysków na krawędziach.
