Efektor końcowy z ceramiki glinowej o wysokiej czystości do robotów obsługujących wafle

Ceramiczny efektor końcowy firmy St.Cera jest precyzyjnie obrabiany z 99,8% Al₂O₃ o wysokiej czystości, przy użyciu zaawansowanych 5-osiowych urządzeń do szlifowania CNC. Nasze możliwości produkcyjne obejmują precyzyjne szlifierki i centra obróbcze CNC, umożliwiając tworzenie złożonych geometrii z wysoką precyzją. Efektor końcowy charakteryzuje się cienkim profilem (nawet 1,5 mm) ze stożkową krawędzią natarcia, co zapewnia płynne wprowadzanie płytki. Materiał zapewnia wysoką sztywność (moduł Younga 380 GPa), doskonałą odporność na zużycie i stabilność termiczną do 800°C. Każdy element jest precyzyjnie szlifowany, aby uzyskać płaskość 0,003 mm, równoległość 0,002 mm i gładkość powierzchni Ra 0,1, co zapewnia stały kontakt z płytką i bezpyłową pracę w środowiskach produkcji półprzewodników. Dostępne w długościach od 150 mm do 450 mm, z niestandardowymi geometriami końcówek (chwyt krawędziowy, Bernoulliego, płaski) i kołnierzami montażowymi, które pasują do robotów OEM. Opcje wykończenia powierzchni obejmują docieranie, polerowanie lub powłokę rozpraszającą ładunki elektrostatyczne (10⁶–10⁹ Ω/sq).

Specyfikacje (na podstawie 99,8% Al₂O₃i możliwości produkcyjne St.Cera):

Zastosowania:

• · Przenoszenie płytek w robotach próżniowych i atmosferycznych
• · Efektory końcowe automatyzacji FAB dla płytek 200 mm/300 mm
• · Obsługa cienkich płytek (z opcją ESD)

Możliwości produkcyjne:
Nasze precyzyjne szlifierki i centra obróbcze CNC umożliwiają produkcję skomplikowanych elementów ceramicznych, charakteryzujących się:

• · Maksymalna długość obróbki: 1500 mm
• · Maksymalna średnica zewnętrzna: 600 mm
• · Minimalna średnica wewnętrzna: 0,2 mm
• · Maksymalna grubość: 100 mm

Kontrola jakości:
Prostoliniowość 0,005 mm, prostopadłość 0,005 mm, okrągłość 0,002 mm, równoległość 0,002 mm, współosiowość 0,01 mm, weryfikowana przez CMM. Każde urządzenie jest czyszczone ultradźwiękowo i pakowane w pomieszczeniu czystym klasy 100.