Rdzeń ceramiczny z tlenku glinu o wysokiej czystości do opraw półprzewodnikowych
Rdzeń ceramiczny z tlenku glinu firmy St.Cera jest precyzyjnie formowany z 99,8% wysokiej czystości Al₂O₃, oferując wyjątkową wytrzymałość dielektryczną (15×10⁶ V/m), stabilność termiczną do 1600°C oraz odporność na pełzanie pod obciążeniem. Rdzenie te są stosowane jako elementy konstrukcyjne w wysokotemperaturowych urządzeniach procesowych, podstawach grzałek, wykładzinach komór plazmowych i izolatorach elektrycznych. Wysoka twardość (16 GPa) i niska absorpcja wody (0%) zapewniają długotrwałą niezawodność w trudnych warunkach.
Specyfikacje(na podstawie 99,8% Al₂O₃):
| Nieruchomość | Wartość |
| Tworzywo | 99,8% tlenku glinu (kość słoniowa) |
| Gęstość | 3,93 g/cm³ |
| Wytrzymałość na zginanie | 361 MPa |
| Wytrzymałość na pękanie | 3–4 MPa·m¹/² |
| Twardość Vickersa | 16 GPa |
| Moduł Younga | 380 GPa |
| Przewodność cieplna | 32 W/m·k |
| Rozszerzalność cieplna (25-1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Wytrzymałość dielektryczna | 15×10⁶ V/m |
| Opór właściwy | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maksymalna temperatura pracy | 1600°C |
Zastosowania:
- · Rdzeń grzejny do reaktorów epitaksjalnych
- · Wkładki i płyty osłonowe komory plazmowej
- · Izolatory elektryczne wysokiego napięcia
- · Podstawa montażowa dla robotów do obsługi płytek półprzewodnikowych
Produkcja:
Prasowanie izostatyczne → obróbka na zimno → spiekanie w temperaturze 1600°C → szlifowanie CNC do wymiarów końcowych (tolerancja ±0,01 mm). Każdy rdzeń jest sprawdzany za pomocą współrzędnościowej maszyny pomiarowej (CMM) i ultradźwiękowego wykrywania wad.
Zapewnienie jakości:
Certyfikat ISO 9001:2015. Badanie penetracyjne pęknięć powierzchniowych; badanie wytrzymałości dielektrycznej zgodnie z normą ASTM D149.
Azalety w porównaniu z innymi materiałami ceramicznymi:
- · Wyższa wytrzymałość dielektryczna niż w przypadku cyrkonii (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · Niższy koszt niż SiC w przypadku zastosowań innych niż plazmowe
- · Doskonała odporność chemiczna na halogeny (oprócz HF)
Kształty niestandardowe:
Cylindry, pręty kwadratowe, płyty lub złożone geometrie. Minimalny rozmiar elementu 0,5 mm.
Skontaktuj się z nami, jeśli potrzebujesz niestandardowych projektów rdzeni i wsparcia w zakresie symulacji cieplnych.
