Porowaty ceramiczny uchwyt próżniowy do obsługi wygiętych płytek
Porowata ceramiczna płytka mocująca St.Cera jest wykonana z tlenku glinu o wysokiej czystości, charakteryzującego się równomierną porowatością otwartą na poziomie 30–45% i wielkością porów od 10 do 100 μm. W przeciwieństwie do konwencjonalnych płytek mocujących z rowkami, porowata powierzchnia zapewnia rozproszone podciśnienie na całej tylnej stronie płytki, skutecznie utrzymując wypaczone, cienkie lub pojedynczo rozmieszczone płytki bez unoszenia się krawędzi ani pękania. Delikatne podciśnienie (regulowane za pomocą ogranicznika) zapobiega również powstawaniu śladów na tylnej stronie płytki.
Specyfikacje(na podstawie 99,6% Al₂O₃):
| Nieruchomość | Wartość |
| Porowatość | 30–45% |
| Średnia wielkość porów | 10–100 μm (do wyboru) |
| Wytrzymałość na zginanie | ≥250 MPa |
| Płaskość (powyżej 300 mm) | ≤5 μm |
| Wykończenie powierzchni | Polerowane (Ra 0,8 μm) |
| Maksymalny poziom podciśnienia | -80 kPa |
| Temperatura pracy | 400°C (powietrze), 600°C (obojętne) |
| Tworzywo | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂ lub SiC |
Zastosowania:
Szlifowanie tylnej strony cienkiego wafla (≤50 μm)
Zniekształcony uchwyt waflowy do krojenia w kostkę
Odbiór pojedynczych matryc z taśmy
Obsługa paneli szklanych
Produkcja i jakość:
Proszek ceramiczny zmieszany z organicznymi substancjami porotwórczymi → prasowany → spiekany → docierany do grubości końcowej. Każdy uchwyt jest poddawany testowi przepływowemu pod kątem jednorodności próżni (odchylenie ≤5%) oraz kontroli rozkładu wielkości porów (SEM). Płaskość mierzona jest interferometrem laserowym.
Zalety w porównaniu do uchwytów rowkowanych:
Brak śladów na krawędziach wafli i przesunięcia matrycy
Utrzymuje wypaczone płytki (do 500 μm łuku)
Eliminuje zatykanie otworu próżniowego
Podkład samopoziomujący do cienkich podłoży
Personalizacja:
Kształty okrągłe lub prostokątne, rozmiar do 600 mm. Możemy zastosować pierścienie uszczelniające krawędzie lub strefowe przegrody próżniowe. Dostępne są wersje z metalowym podkładem dla wymagań wysokiej sztywności.
Zamów próbkę do pomiaru rozmiaru wafla i testu odkształceń.
